電子行業無塵車間

電子行業潔凈室的特點

潔凈度等級要求高，風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控，照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚，因為過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。

一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規定）。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。

芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分。

由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。

◆電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級（空態）：不應大于65dB(A)。

◆電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

◆電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。

◆電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值：

一、補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和；二、保證供給潔凈室

內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m³。

◆電子制造行業潔凈室凈化空調系統加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區，新風系統應設置防凍保護措施。

無塵室的送風量，應取下面三項最大值：

1.保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量；

2.根據熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量；

3.向電子制造廠潔凈室供給的新鮮空氣量。

潔凈度影響因素

潔凈室作為一個龐大的凈化系統，面積大的同時，還需要劃分復雜的功能分區以及相應的緩沖配套間等，共同構成了復雜的送、回風系統。

因此，會導致潔凈室的潔凈度不合格的因素很多。主要包括：

（1）設計級別與空調布置

潔凈室的設計級別與空調布置情況直接關系著潔凈室的潔凈度等級水平。

（2）施工水平

廠房整體施工質量，空調系統、供氣系統、排污系統等保障設備的安裝質量與潔凈室的潔凈度息息相關。

（3）氣流組織

若氣流組織不合理，則送風氣流無法充分籠罩工作區。送、回風口的位置不合理，將會產生較高、較大的渦流，則單向流潔凈室的氣流偏斜角過大?；仫L格柵開孔面積布置不合理，則回風速度偏高，回風不暢。

（4）過濾器

過濾器質量問題或安裝問題導致送入潔凈室的空氣未經過有效的過濾，空氣中懸浮的部分塵埃粒子沒有被濾除，導致潔凈室內潔凈度不合格。

（5）換氣次數

換氣次數不足會導致潔凈室內被污染的空氣無法快速排出潔凈室，過低的換氣次數也無法抑制發塵源的污染作用。

（6）靜壓差

靜壓差不合格會使潔凈室無法阻擋其外部的污染物進入潔凈室內。

（7）風淋室

風淋室作為進入潔凈室所必需的通道，用來減少進出潔凈室所帶來的污染問題。因此，它的質量與潔凈室的潔凈度密切相關。

（8）設備擺放

室內設備擺放位置不合理會影響潔凈室內的氣流流向不能達到由上至下、由中心至四周的正常流向，造成氣流紊亂，令污染物不能有效排出潔凈室。

（9）新設備搬入

新設備的搬入過程需將潔凈室內環境與外界大氣連通。因此，需嚴格控制設備的搬入時間與搬運安裝流程。同時，設備的外包裝需經過嚴格的擦拭清潔后方可搬入。

（10）化學物質

原材料中的化學物質以及生產過程中的衍生物均會產生揮發物，對潔凈室的潔凈度產生影響。

（11）保潔水平

潔凈室清潔不干凈將導致室內積聚污染物，造成衛生死角。

（12）人員與物資運轉

潔凈室運行過程中，人員和物資的運轉很容易在污染敏感的活動周圍產生空氣紊流，是潔凈度的主要污染源。

物資流轉量過大，作業人員數量超標，人員潔凈服穿著不當等問題，均會造成發塵量超標。